石英坩埚打磨用金刚石端面铣轮的加工性能研究

• 作者: 段端志 王桃章 王红星 赵海洋 邓竹君 马若飞
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石端面铣轮 新型工艺 使用寿命 石英坩埚
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TG74|TQ164
• 字数: 3017字
• 语种: 中文

摘要

石英坩埚，是拉制单晶硅和生产多晶硅铸锭的必要容器。石英坩埚制成后需使用金刚石端面铣轮对其底面进行打磨，目前进口的金刚石端面铣轮使用效果较好，但是价格昂贵，而国内生产的金刚石端面铣轮虽然价格相对便宜，但是质量不高，加工性能不稳定。我公司开发了一种新型生产工艺并制备了金刚石端面铣轮，且进行了金刚石端面铣轮对比打磨石英坩埚试验。结果表明：与采用常规生产工艺制备的金刚石端面铣轮相比，采用新型生产工艺制备的金刚石端面铣轮其使用寿命平均提高45%，且在打磨石英坩埚过程中加工效率比较稳定。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马若飞		8	9	2.0	3.0
2	赵海洋		4	1	1.0	1.0
3	邓竹君		10	8	2.0	2.0
4	王红星		1	0	0.0	0.0
5	段端志		2	1	1.0	1.0
6	王桃章		3	1	1.0	1.0