不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响

• 作者: 尹平河 曹水良 梁志红
• 来源期刊: 暨南大学学报（自然科学与医学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射扫描电镜 二次电子图像 能量选择式背散射电子图像 低加速电压 荷电现象
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 生命科学
• 页码范围: 357-360
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 1934字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11778/j.jdxb.2014.04.004

摘要

利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像。结果发现：在合适的低加速电压下，样品可以直接观察，不需喷金处理，而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富，更清晰；能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显，可以有效消除荷电现象和各种假象。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹平河	暨南大学分析测试中心	103	2085	23.0	42.0
2	梁志红	暨南大学分析测试中心	24	153	9.0	11.0
3	曹水良	暨南大学分析测试中心	15	111	6.0	10.0