结构应力耦合的微悬臂阵列

• 作者: 丁江放 付号 曹更玉 李加东 毛添华
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂阵列 结构应力耦合 有限元分析 激光干涉测量
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光纤与光通信
• 页码范围: 28-32
• 分类号: TP271+.4
• 语种: 中文

摘要

微悬臂器件被广泛应用于力学显微镜和光力学研究中,实现微悬臂之间的耦合在高精密测量和量子声子网络构建方面具有重要的应用前景.不同于通过电、磁相互作用实现微纳共振器之间耦合的方法,设计并制备了通过结构应力实现耦合的微悬臂阵列.模拟和实验结果表明,这种结构应力耦合微悬臂阵列不仅可以获得较大的耦合强度和较高的力学性能,同时悬臂之间的耦合强度也容易控制.对于其它形式的微纳共振器,同样可以利用结构应力耦合这种方法来实现共振器之间耦合的阵列.