小尺寸FFS产品Zara分析与改善研究

• 作者: 刘俊豪 刘利萍 叶超前 吴涛 崔完鎔 陆相晚
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: TFT-LCD 小尺寸 Zara 分类
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 697-702
• 页数: 6页
• 分类号: TN87
• 字数: 2222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20142905.0697

摘要

通过对大量Zara样品进行分析,构建了不良现象——对应原因(Phenomenon Cause)的4种理论模式,并基于此理论设计了改善Zara的实验.通过分析发现:约5μm左右可移动的Zara主要为摩擦工艺过程产生的碎屑;10～25 μm按压不动的Zara主要为取向膜涂覆过程中的颗粒引起;轮廓清晰尺寸较大的Zara主要来自环境颗粒;无清晰轮廓且体积较大的Zara主要为摩擦取向失效形成的岛状漏光.为降低Zara不良进行实验,结果显示:增加取向膜在基板上的覆盖率以及变更彩膜涂层材料可有效降低Zara不良的发生率;此外,减小柱状隔垫物的坡度角度能够从源头上有效防止Zara的产生.Zara不良的研究与改善提升了小尺寸FFS产品的良率5％以上,为企业的稳定高效生产奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘利萍		4	15	2.0	3.0
2	陆相晚		2	8	2.0	2.0
3	叶超前		3	12	2.0	3.0
4	吴涛		1	6	1.0	1.0
5	刘俊豪		1	6	1.0	1.0
6	崔完鎔		1	6	1.0	1.0