凸非球面辅助面的背向零位检验分析

• 作者: 叶璐 姚劲刚 胡文琦 郑列华
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 几何光学 辅助面补偿 凸非球面检测
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 基础光学
• 页码范围: 520-524
• 分类号: O435
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2014.05.002

摘要

在现代光学检测中,凸非球面的检测一直是一个难点.辅助面的背向零位检测方法,从三级像差理论出发,通过计算非球面的法距差,来探讨辅助面对凸非球面法距差的补偿校正能力.这种检验方法可用于偏心率-1/n2＜e2＜1/n2的凸非球面.辅助面有两个作用,其一为将实体非球面的球心引入到空气中;其二则为辅助面与凸非球面的组合可以补偿凸非球面的法距差.通过理论分析与Zemax编程计算得出当-0.5＜e2＜0.5时非球面的RMS值均优于λ/30.在工程实际应用中,通过此方法检测的凸非球面波前误差优于λ/100.可以得出辅助面对凸非球面的法距差具有一定的补偿能力这一结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑列华	中国科学院上海技术物理研究所	20	59	4.0	6.0
2	叶璐	中国科学院上海技术物理研究所	8	23	3.0	4.0
3	胡文琦	中国科学院上海技术物理研究所	6	11	2.0	3.0
4	姚劲刚	中国科学院上海技术物理研究所	2	7	2.0	2.0