非零位凸非球面子孔径拼接检测技术研究

• 作者: 张宪忠 闫公敬
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉测量 子孔径拼接 非零位 凸非球面
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 798-803
• 页数: 6页
• 分类号: O439|O436.1
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20181105.0798

摘要

为了实现大口径凸非球面镜的高精度检测,本文研究了凸非球面非零位子孔径拼接检测技术,并建立了一套非零位拼接检测算法模型,模型中分别针对同轴子孔径与离轴子孔径非零位检测时所引入的测试误差进行了建模分析,同时对测试误差剔除、拼接系数求解、全口径面形获得等问题进行了研究.最后,结合工程实例,对一口径为130 mm的凸双曲面进行了拼接检测,分析了该非球面各测试子孔径非零位检测误差形式,同时进行了误差剔除、全口径面形获取等工作.从拼接结果中可以看出,拼接结果光滑、连续、无拼接痕迹.为了进一步验证拼接精度,我们将拼接结果与子孔径检测结果进行对比,引入了自检验子孔径评价方法,计算得到自检验子孔径与拼接结果在自检验子孔径范围内的残差图,二者残差图的PV值与RMS值分别为0.016λ与0.003λ,由上述结果可以得到自检验子孔径的测试结果与拼接结果在自检验子孔径范围内是一致的,从而验证了本文算法的拼接精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫公敬		12	18	3.0	3.0
2	张宪忠		21	52	4.0	6.0