Ni-Mo-P合金镀层退火应力的CGS在线测试

• 作者: 张弛 杨志刚 王梅玲
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相干梯度敏感法 高温应力 Ni-Mo-P薄膜 干涉条纹
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 模拟计算
• 页码范围: 213-218
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文

摘要

通过自组装层法在SiO2基底上化学镀了Ni-Mo-P薄膜,薄膜的厚度和成分通过X射线荧光仪(XRF)测定.利用新型在线应力测试方法(相干梯度敏感法CGS)对退火过程中的应力进行了全场在线测试.结果表明,定量计算得到特定成分的生长应力为3.85 GPa;在600℃、700℃退火过程中,薄膜的应力首先出现轻微缓解,之后由于热应力作用,基底与薄膜边缘处易出现应力集中,应力值高达10.1 GPa,是薄膜断裂的高危区域;薄膜的平均残余应力经热处理后得到部分缓解.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	清华大学材料学院	83	1291	19.0	35.0
2	张弛	清华大学材料学院	66	317	10.0	16.0
3	王梅玲	清华大学材料学院	3	12	2.0	3.0