薄膜压电系数测量方法的研究进展

• 作者: 岳义 相文峰 董佳丽 贺卓 赵嵩卿 赵昆
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电系数 压电薄膜 测试方法 正压电效应 逆压电效应
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 59-65
• 分类号: TN304.07
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.01.010

摘要

基于国内外对于薄膜压电系数的研究成果,系统地综述了薄膜压电系数的测量方法,如正向压力法、圆片弯曲法、激光干涉法、悬臂梁法和显微镜法等,并对这些方法的基本原理、测试表征、应用状况及存在的问题进行了详细的分析,同时比较了这些方法的优缺点.传统的测量方法,如正向压力法、圆片弯曲法和悬臂梁法等已经遇到了技术瓶颈,难以得到根本性的优化;而高分辨率的激光干涉法和显微镜法测量方便、可靠,与其他技术相结合有望成为表征薄膜压电系数的标准方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵昆	中国石油大学理学院	21	44	3.0	6.0
2	董佳丽	中国石油大学理学院	1	7	1.0	1.0
3	相文峰	中国石油大学理学院	3	8	1.0	2.0
4	岳义	中国石油大学理学院	1	7	1.0	1.0
5	贺卓	中国石油大学理学院	1	7	1.0	1.0
6	赵嵩卿	中国石油大学理学院	4	19	2.0	4.0