光学薄膜参数测量方法研究进展

• 作者: 李佑路 李凯朋 熊玉卿 王多书 王济洲 董茂进
• 来源期刊: 中国科技成果
• 关键词: 光学薄膜参数 反演 测量方法
• 年，卷（期）: 2016,（24）
• 所属期刊栏目: 创新交流
• 页码范围: 62-63,68
• 页数: 3页
• 字数: 2788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1009-5659.2016.24.026

摘要

研究测量速度更快、准确性更高的光学薄膜参数测量方法，快速准确测量各膜层的光学薄膜参数，对于高性能、高精度光学薄膜优化设计和工艺制备改进都具有指导作用。论文在分析光学薄膜参数测量方法研究必要性的基础上，介绍了目前发展的光学薄膜参数测量方法，并对各种测量方法的测量范围、精度、稳定性作了分析，综合比较了各种测量方法的优缺点和适用性，对不同类型的薄膜系统给出了最佳的光学薄膜参数测量方法。最后对光学薄膜参数测量方法的发展作了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊玉卿	真空技术与物理重点实验室/兰州空间技术物理研究所	2	0	0.0	0.0