白光干涉法三维面型重构仿真研究

• 作者: 孙腾飞 张骏 曹增辉 朱南南 李丹 杨宝磊 郑田甜
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 物理学
• 关键词: 白光干涉测量 三维面型重构 Matlab 相对误差
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 测试、试验与仿真
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 字数: 2412字
• 语种: 中文

摘要

采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量,对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究.使用Matlab软件,选取了两种面型结构函数,仿真得出重构的面型,选取5个参考点进行了对比.研究结果表明,白光干涉测量具有高精度、测量时间短、相对误差小于0.5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张骏	烟台大学光电信息科学技术学院	61	337	11.0	14.0
2	孙腾飞	烟台大学光电信息科学技术学院	7	41	3.0	6.0
3	郑田甜	烟台大学光电信息科学技术学院	6	40	3.0	6.0
4	曹增辉	烟台大学光电信息科学技术学院	6	40	3.0	6.0
5	朱南南	烟台大学光电信息科学技术学院	3	17	2.0	3.0
6	杨宝磊	烟台大学光电信息科学技术学院	3	21	2.0	3.0
7	李丹	烟台大学光电信息科学技术学院	7	41	4.0	6.0