精密连接——真空扩散焊和过渡液相连接的实验研究

• 作者: 刘月清 孙东 李海涛 田宁 许芳
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 精密连接 真空扩散焊 过渡液相连接 电真空器件
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 微波管专辑
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TG456
• 字数: 1861字
• 语种: 中文

摘要

针对新型电真空器件研制过程中的精密连接要求,进行了无氧铜真空扩散焊、过渡液相连接工艺实验.并应用氦质谱检漏仪、测量显微镜、金相显微镜、扫描电子显微镜对扩散焊试样进行分析,并进行了不同扩散温度、不同扩散时间的对比实验.实验表明:在相同工艺参数下,无氧铜直接扩散连接能获得可靠的扩散焊接头,内部结构变形量1～12 μm,漏率5×10-4 Pa·m3 s-1,且在相同扩散压力条件下,不能通过提高扩散温度,延长扩散时间的方法获得气密性接头;过渡液相连接接头可达到气密性要求(QL＜5×10-9 Pa· m3s-1),变形量5～15 μm,镀银层充分扩散到母材中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海涛	中国航天系统科学与工程第一研究所工程咨询事业部	8	14	2.0	3.0
2	刘月清	中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室	4	11	2.0	3.0
3	孙东	中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室	4	7	1.0	2.0
4	许芳	中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室	9	11	2.0	2.0
5	田宁	中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室	6	30	3.0	5.0