直线电机保护装置的设计与控制方法

• 作者: 刘亚奇 孟庆嵩 朱伟 郝术壮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 保护装置 Adams仿真 螺线管
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TM303
• 字数: 2280字
• 语种: 中文

摘要

直线电机具有精度高、响应快等优点，广泛应用于半导体制造设备中。直线电机控制机构Z向运动时，经常出现掉电或故障导致的电机动子跌落而发生损坏晶圆的情况。利用电磁铁螺线管设计了一种电机掉电保护装置，建立动力学模型，应用Adams软件进行了动力学仿真，获得了挂钩转角与时间的关系曲线，并通过搭建实验平台，测试了该系统的反应时间。实验表明，反应时间的仿真与实验结果吻合较好，该装置可以应用于直线电机保护中。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱伟		2	6	2.0	2.0
2	刘亚奇		3	14	2.0	3.0
3	郝术壮		3	7	2.0	2.0
4	孟庆嵩		2	2	1.0	1.0