Fe掺杂In2O3薄膜的结构及磁性研究

• 作者: 王利荣
• 来源期刊: 河北民族师范学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 原位退火 In2O3薄膜
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 生物·物理·地理
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 1704字
• 语种: 中文

摘要

在室温条件下采用直流磁控溅射方法并结合原位空气退火工艺,在普通玻璃基片上,制备了不同Fe掺杂量的In2O3薄膜.实验结果表明,退火氛围及Fe的掺杂量对In2O3薄膜的微结构、形貌及磁特性都有着很大的影响.空气中773 K下退火30 min的In2O3薄膜样品则结晶状态良好,不同Fe掺杂的In2O3薄膜样品均表现出室温铁磁性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王利荣		7	3	1.0	1.0