液态源可控蒸发输送系统

• 作者: 吴得轶 杨彬
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 液态源输送 扩散炉 氧化炉 化学气相淀积
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 光伏制造工艺与设备
• 页码范围: 28-30,58
• 页数: 4页
• 分类号: TM615
• 字数: 2777字
• 语种: 中文

摘要

在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺.如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HM DSO、TEOS、SiHCl3等.实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响.对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨彬	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	6	2.0	2.0
2	吴得轶	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	2	1.0	1.0