有限元分析薄膜/基底在纳米压痕过程中的力学性能

• 作者: 彭洪勇 王晓宇 王金良
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 有限元 薄膜/基底体系 残余深度 应力
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 327-332
• 页数: 6页
• 分类号: O302
• 字数: 3396字
• 语种: 中文

摘要

运用有限元程序ABAQUS/Standard,建立了纳米压痕的有限元模型,并对一般薄膜/基底体系进行了数值模拟.结果表明:在压入相同深度时,薄膜的厚度越大,卸载后的残余深度越浅.薄膜的厚度越大,基底对薄膜的影响越小.对于同一厚度薄膜在不同最大压痕深度时,残余深度和基底的内应力会随着最大压痕深度的增加而增大.最后,采用前面论述的薄膜/基底体系,利用有限元方法模拟不同弹性模量对纳米压痕的影响,并将模拟结果和实验结果进行了对比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金良	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	24	125	7.0	10.0
2	王晓宇	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	15	89	5.0	9.0
3	彭洪勇	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	2	12	2.0	2.0