用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现

• 作者: 周振华 姜伟 汪家胜 金建新
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片检测 直线电机 精密 运动平台
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TH12
• 字数: 3100字
• 语种: 中文

摘要

硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要.采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程.实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金建新	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	40	202	9.0	12.0
2	姜伟	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	18	82	5.0	8.0
3	周振华	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	7	28	3.0	5.0
4	汪家胜	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0