基于振动的亚微米阵列薄膜弹性参数辨识

• 作者: 北村隆行 方辉 澄川贵志
• 来源期刊: 中国科学（物理学 力学 天文学）
• 关键词: 阵列薄膜 亚微米 振动测试
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1196-1202
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/SSPMA2014-00111

摘要

亚微米阵列薄膜是以微/纳米尺寸的管、柱、弹簧等为基本单元,在同一平面内周期排列构筑的薄膜结构(厚度100 nm-1 μm).亚微米阵列薄膜是人工合成的新型材料,需要依靠实验、理论和数值分析技术得到材料参数.由于亚微米阵列薄膜的几何微尺度,其固有频率达到MHz量级.本文提出了一种基于激光技术的非接触式振动测试方法,由振动特性确定了亚微米阵列薄膜弹性参数.