氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

• 作者: 秦玉伟
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 薄膜 检测 光学相干层析成像
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 845-847
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.026

摘要

为了实现对氧化锌薄膜的厚度测量，采用光学相干层析成像的方法进行了理论分析和实验验证，获得了含厚度信息的1维深度图像和含内部结构信息的2维层析图像。结果表明，该方法测得的薄膜厚度值与理论值一致。该研究说明谱域光学相干层析成像技术的测量结果真实有效，可以用于薄膜的厚度测量和质量检测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦玉伟	渭南师范学院物理与电气工程学院	42	95	6.0	7.0