Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用

• 作者: 何华云 林伯奇 胡晓宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: Modbus TCP 高温MOCVD 以太网通信协议
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2153字
• 语种: 中文

摘要

介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用ModbusTCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林伯奇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	8	6	1.0	1.0
2	胡晓宇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	56	4.0	7.0
3	何华云	中国电子科技集团公司第四十八研究所	11	38	3.0	6.0