基于双环境力的MEMS执行器的设计与研究

• 作者: 刘凤丽 王兴 郝永平
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双环境力 MEMS执行器 引信 弹性系数 动力学仿真
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TG453.9|TM564.6
• 字数: 2389字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种应用于双环境力下MEMS执行器.根据其结构特点对MEMS执行器进行静力学及运动学分析,应用能量法的卡氏第二定理分别推导出MEMS执行器中的折叠梁X、Y方向弹性系数的计算公式.在ANSYS/LS-DYNA中对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图.计算结果表明,该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作,具有结构紧凑、抗过载能力强的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝永平		170	586	11.0	17.0
2	刘凤丽		11	15	3.0	3.0
3	王兴		7	6	2.0	2.0