流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响

• 作者: 刘源 张国军 张文栋 申辉 赵鹏 陈丽红
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 共振频率 ANSYS MEMS 流体
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 758-762
• 页数: 5页
• 分类号: TB565.1
• 字数: 3343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.06.010

摘要

由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点，但是由于流体的影响，水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同，为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响。首先，理论上分析了流体对共振频率的影响。然后，采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真。最后分别采用振动台和矢量水听器校准系统进行了测试。结果表明MEMS矢量水听器在水中的共振频率较空气中下降了约31.2%。