非接触间隙检测

• 作者: 张云鹏 蒲继祖 贾亚飞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 非接触 光的干涉 间隙检测
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TN307
• 字数: 1391字
• 语种: 中文

摘要

基于光的分振幅干涉原理，用激光做光源，自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置，通过实际运用，达到理想效果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张云鹏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	3	1.0	1.0
2	贾亚飞	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	1	1.0	1.0
3	蒲继祖	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	0	0.0	0.0