释放孔对微机电系统变形镜光学性能的影响

• 作者: 王东 蔡冬梅 贾鹏 遆培培
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 表面光学 自适应光学 释放孔 微机电系统变形镜 衍射
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 自适应光学
• 页码范围: 226-231
• 页数: 6页
• 分类号: TP211.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0612001

摘要

利用表面工艺制作的微机电系统(MEMS)变形镜具有体积小、分辨率高、驱动电压低等优点,然而镜面存在大量的释放孔形成一个规则的阵列结构,影响了变形镜的光学性能.设计制作了一种基于表面工艺的MEMS变形镜单元,研究了释放孔阵列对变形镜光学性能的影响.从夫琅禾费衍射原理出发,建立了二维释放孔阵列的衍射理论模型.研究结果表明,随着释放孔尺寸的增加和相邻释放孔间距的降低,中央零级衍射光强降低,衍射效应增强;同时镜面的有效反射面降低,总反射率降低.释放孔结构影响哈特曼波前传感器对畸变波前的测量性能,使聚焦光斑能量降低,同时随着波前扰动的增强,相邻聚焦光斑发生串扰,波前测量精度降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王东		51	223	8.0	13.0
2	蔡冬梅		26	172	6.0	13.0
3	遆培培		3	21	1.0	3.0
4	贾鹏		16	76	3.0	8.0