光刻物镜光瞳极平衡性标定方法

• 作者: 史振广 张巍 芮大为 袁文全
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 光刻物镜 光瞳极平衡 远心度
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 276-283
• 页数: 8页
• 分类号: O432.1|TN305.7|TB851+.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0916002

摘要

极平衡作为光刻物镜的一项重要指标,受到多种误差因素综合调制,因此有必要准确区分各种误差源的独立贡献量.提出了一种标定方法,将远心度误差所引入的调制效果进行了解耦,对极平衡指标进行了标定,并与质心标定方法进行对比研究.实现途径是以Matlab程序作为载体,调用Code V进行远心度运算,对LightTools的光瞳强度仿真结果进行重新定位,从而获取远心分离后的极平衡性指标.此外,设计了一个光刻物镜方案作为研究对象,对标定程序进行了仿真验证.结果表明,该标定方法可有效分离远心误差对极平衡的调制作用,程序执行效率较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张巍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	254	8.0	14.0
2	史振广	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	44	3.0	6.0
3	袁文全	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	55	4.0	7.0
4	芮大为	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	4	1.0	2.0