浸没式光刻投影物镜光学薄膜

• 作者: 张立超 时光 毕丹丹
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 光学功能材料
• 页码范围: 745-764
• 页数: 20页
• 分类号: O484
• 字数: 10408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20181105.0745

摘要

深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法,为实现更小的元件特征尺寸,必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率,由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求.本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计,以及高NA光学系统所需的大角度保偏膜系;对物镜中最关键的浸液薄膜的液体环境适应性、疏水及防污染等关键问题进行了讨论;对衡量浸没式光刻系统性能的重要因素镀膜元件激光辐照寿命,尤其是浸液环境下的元件辐照寿命进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	31	306	10.0	16.0
3	时光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	9	38	4.0	6.0
5	毕丹丹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	2	8	1.0	2.0