极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析

• 作者: 王辉
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外光刻 物镜 运动学支撑 有限元分析
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 598-604
• 分类号: TN305.7|TH703
• 字数: 3309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.06.010

摘要

介绍了极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑原理和支撑要求,分析了符合运动学支撑要求的物镜支撑结构和面形检测用支撑结构;针对支撑结构性能和支撑方案中关键问题进行了深入研究,并提出了相应的解决方案.最后建立了支撑结构的有限元模型,并在此基础上进行了重力场中的镜体变形分析和温度场作用下系统的热变形分析.分析结果表明,检测用支撑与实际用支撑两种结构在重力环境下支撑出的元件面形基本相同,面形相差0.002 6 nm(RMS);温控范围为0.05 ℃时,由机械结构热变形引起的镜体面形变化在0.001 nm(RMS)量级.研究结果表明,运动学物镜元件支撑结构能够满足极紫外光刻系统对于物镜机械支撑结构的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	215	3061	28.0	49.0