新测量技术可能帮助半导体商年省数十亿美元

• 作者: 闫罡
• 来源期刊: 中国计量
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 计量荟萃
• 页码范围: 53-54
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

一项能够为半导体制造商每年节省数十亿美元的测量性能上的基础性突破为其发明者——美国国家标准与技术研究院(NIST)研究人员在2013年赢得R&D 100大奖. 这项由NIST研究人员开发的被称作定量混合测量法的技术(Quantitative Hybrid Metrology,QHM),利用统计技术以及由两种或两种以上仪器测量所获得的测量值,来严格确定半导体芯片上纳米级晶体管的大小数量等特征.