康铜薄膜测力传感器的模型设计

• 作者: 成云平 李学瑞 李琦 武文革
• 来源期刊: 机械设计与制造
• 学科: 工学
• 关键词: 康铜薄膜 弹性膜片 传感器 有限元分析
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术
• 页码范围: 148-150
• 页数: 3页
• 分类号: TH16|TP212
• 字数: 1805字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种康铜薄膜传感器模型,该模型由硬质合金基体、硬质合金弹性膜片、Al2O3薄膜及康铜薄膜电阻栅构成,为了获得较好的输出电压,康铜薄膜电阻栅与导线连接组成惠斯通电桥.使用有限元分析软件ANSYS对该模型进行了仿真分析,通过改变弹性膜片厚度与所受载荷大小,来比较传感器的不同输出电压,分析结果表明:电阻栅置于弹性膜片最大变形处即中心处,传感器输出灵敏度较高;在相同条件下传感器的输出电压随载荷增加而增加,随着弹性膜片厚度的减小而增大,变化近似呈线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武文革	中北大学机械工程与自动化学院	68	346	11.0	16.0
2	成云平	中北大学机械工程与自动化学院	21	71	5.0	7.0
3	李琦	中北大学机械工程与自动化学院	5	33	4.0	5.0
4	李学瑞	中北大学机械工程与自动化学院	7	38	4.0	6.0