金刚石砂轮表面形貌测量系统

• 作者: 余卿 崔长彩 张遨 李瑞旭 王爽 黄辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石砂轮 表面形貌测量 白光干涉仪 曲面拼接
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 3167-3174
• 页数: 8页
• 分类号: TH744.3|TH161.14
• 字数: 3418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142212.3167

摘要

为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和关键技术.根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法,研究了系统的自动扫描范围、垂直方向的扫描方法、单次测量三维表面的恢复算法和磨粒的识别算法.结合自行设计的夹具搭建了砂轮测量系统,并对多次测量拼接算法进行了实验分析.实验结果表明:基于区域重合大小(重合度为30％～50％)的拼接算法获得的拼接前后重合区域的相关系数均大于0.8,拼接后重合区域的高度差均小于0.4 μm.得到的结果显示所搭建的系统可以恢复砂轮的形貌,其测量范围和精度满足砂轮磨粒评定和分析的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学机电及自动化学院	55	459	12.0	20.0
2	黄辉	华侨大学机电及自动化学院	92	796	17.0	23.0
3	余卿	华侨大学机电及自动化学院	21	61	4.0	7.0
4	李瑞旭	华侨大学机电及自动化学院	2	16	2.0	2.0
5	王爽	华侨大学机电及自动化学院	6	30	3.0	5.0
6	张遨	华侨大学机电及自动化学院	2	15	1.0	2.0