微机电系统在计量领域的应用

• 作者: 王有忠
• 来源期刊: 中国计量
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 现代计量仪器与技术
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

一、微机电系统的发展现状 微型机械电子系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统(Micro Systems),俗称微机电系统.它是在集成电路(IC)加工技术基础上发展起来的新兴研究领域,涵盖力学、电磁学、热力学、化学、光学、材料科学等多个学科,是21世纪最有发展前途的技术之一,被誉为“第二次硅技术革命”.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王有忠		4	2	1.0	1.0