飞秒激光烧蚀石英玻璃表面质量分析

• 作者: 吴东江 姚龙元 牛方勇 郭东明 马广义
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 表面粗糙度 偏振态 烧蚀形貌 线重叠率
• 年，卷（期）: 2014,（23）
• 所属期刊栏目: 制造科学与技术 -- 制造工艺与装备
• 页码范围: 194-199
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|O437
• 字数: 3973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2014.23.194

摘要

基于不同激光功率线烧蚀试验，研究激光偏振模式对烧蚀线宽度及表面形貌特征的影响。结合线烧蚀优化参数，开展不同线重叠率δ的面烧蚀试验，利用表面轮廓仪进行烧蚀表面粗糙度分析；建立扫描速度和线重叠率对残留高度影响的关系表达式，并进行计算分析。研究表明，当线偏振方向平行于扫描方向时，线偏振光烧蚀线质量优于圆偏振光，且其烧蚀线宽比圆偏振光大。当δ由65%增大到90%时，线偏振光烧蚀面垂直于扫描方向的轮廓算数平均偏差Ra先减小后增大，并在δ=80%时达到最小值1.05μm；圆偏振光Ra随δ增大而减小，在δ=90%时达到最小值1.63μm。此外，烧蚀面微观不平度十点高度Rz计算结果与试验结果基本吻合，且Rz与δ呈线性关系，并随δ增大而减小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
2	吴东江	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	63	533	14.0	20.0
3	马广义	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	42	204	8.0	12.0
4	姚龙元	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	6	2.0	2.0
5	牛方勇	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	17	44	5.0	6.0