AFM检测金刚石刀具锋利度误差分析研究

• 作者: 岳晓斌 张晓锋 徐敏 雷大江
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 锋利度 AFM 测量误差
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TH741|TG84
• 字数: 4307字
• 语种: 中文

摘要

金刚石刀具是超精密切削的重要工具,其刃口锋利度的好坏对工件切削质量有着直接影响.基于AFM的金刚石刀具刃口锋利度检测是目前的主要方法,但是由于AFM仪器本身、扫描参数设置以及刀具状况、外界干扰等多种影响因素的作用,将导致金刚石刀具纳米级锋利度的检测产生多种误差.以圆弧刃金刚石刀具为测量对象,深入分析各个因素的影响过程,进行了理论分析和实验过程,提出了抑制和修正方法.研究表明,通过上述研究和措施的实施,可以提高锋利度的检测精度,为金刚石刀具高质量评价体系的建立提供理论和方法支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷大江		27	147	8.0	11.0
2	岳晓斌		28	153	8.0	10.0
4	徐敏		27	57	4.0	6.0
7	张晓锋		1	2	1.0	1.0