直线超声电机驱动精密二维定位平台系统

• 作者: 张军 时运来 梁大志 赵淳生
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直线超声电机 压电 精密定位 复合控制
• 年，卷（期）: 2014,（18）
• 所属期刊栏目: 电机与电器
• 页码范围: 2960-2966
• 页数: 7页
• 分类号: TM359.4|TP273
• 字数: 4489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13334/j.0258-8013.pcsee.2014.18.012

摘要

针对当前精密作动技术领域对精密定位系统提出越来越高的要求，设计了一种由蝶形直线超声电机驱动的二维精密定位平台系统。该定位平台系统行程为50 mm×50 mm，以直线型增量光栅编码器作为位置反馈元件，通过上位机编程实现运动控制卡对精密定位平台系统进行控制。为了实现直线超声电机的驱动，设计了一种新型直线超声电机驱动器，实现驱动电压和驱动频率的独立控制。在控制过程中，通过使用复合控制技术，同时结合直线超声电机具有高分辨率步进的控制特性，最终使系统达到高精度运动的控制效果。实验结果表明，在0~50 mm行程内，实现了小于0.28μm 的定位精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张军		1	25	1.0	1.0
2	时运来		2	53	2.0	2.0
3	梁大志		1	25	1.0	1.0
4	赵淳生		3	59	3.0	3.0