激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收

• 作者: 张立超 才玺坤 时光 梅林 武潇野 谷勇强 赵灵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 薄膜材料 193 nm激光器 激光量热法 吸收系数
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 180-187
• 页数: 8页
• 分类号: O436.2|O551.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0807001

摘要

为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范.介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激光量热法测量应用于波长193 nm紫外光刻系统的氟化物薄膜材料吸收率的方法,并进行了实际测量.根据所建立的测量方法,获得熔石英基底材料在193 nm紫外光照射下的剂量效应及出现不可恢复吸收现象时相应的激光能量密度,进而测量出基底材料吸收率与激光能量密度之间的关系;通过热蒸发对基底镀氟化镁及氟化镧单层膜,测量镀膜后样品的吸收率与激光能量密度的关系,通过与镀膜前吸收率的对比,计算了两种薄膜材料吸收率与激光能量密度的关系,推算出薄膜材料在实际工作状态时的吸收率,并得到不同沉积温度下氟化镧薄膜材料吸收率、粗糙度与波纹度.实验结果证实了新提出测量方法的可行性,测量结果为改善系统成像质量以及延长元件使用寿命提供支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	306	10.0	16.0
2	谷勇强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	40	3.0	6.0
3	梅林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	29	4.0	5.0
4	才玺坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	16	2.0	3.0
5	时光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	38	4.0	6.0
6	武潇野	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	13	2.0	3.0
7	赵灵	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	0	0.0	0.0