声表面波气体传感器设计与制作

• 作者: 张森 李维龙 赵以贵
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 化学
• 关键词: 声表面波 气体传感器 甲基膦酸二甲酯 巯基十一酸
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 80-82,86
• 页数: 4页
• 分类号: O652
• 字数: 2711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2014)08-0080-03

摘要

阐述了声表面波（ SAW）甲基膦酸二甲酯（ DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性，主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性，敏感材料巯基十一酸（ MUA ）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1～100 mg/m3的浓度范围内具有好的线性度和21 Hz/mg/cm3的灵敏度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵以贵		2	12	2.0	2.0
2	李维龙		1	2	1.0	1.0
3	张森		1	2	1.0	1.0