弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量

• 作者: 付绍军 刘正坤 宝剑光 林继平 梁榉曦 洪义麟 王庆博
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 弯月面涂胶 大面积涂胶 白光干涉 胶厚测量 均匀性
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 101017-1-101017-5
• 页数: 1页
• 分类号: TN305.7|TN307
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.101017

摘要

为实现大面积基片的均匀涂胶，设计组装了一台小型弯月面涂胶样机，实验了200 mm×200 mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了弯月面涂胶的胶厚分布，其胶厚均匀性峰谷值偏差低于5%。对弯月面涂胶系统引起的均匀度偏差做了初步分析研究，并对比了测试系统与经校准的台阶仪胶厚测量结果，偏差小于0.8%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
2	付绍军		69	435	12.0	15.0
3	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
4	林继平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	6	2.0	2.0
8	梁榉曦	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	5	2.0	2.0
9	王庆博	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	3	4	1.0	2.0
10	宝剑光	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	6	2.0	2.0