米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制

• 作者: 刘正坤 卜和阳 卢振武 徐佳 洪义麟 许文斌 鱼卫星
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 弯月面 大面积 涂胶 液面调控 光学元件
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 133-140
• 页数: 8页
• 分类号: TB853.29
• 字数: 2883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172501.0133

摘要

弯月面化学涂膜技术因其具有大面积、低成本以及高效率等优势成为继旋涂、喷涂等传统涂膜工艺后极具发展潜力的新型化学薄膜涂覆技术.本文针对国家某重大项目对米级光学元件表面的化学薄膜涂覆需求,对基于弯月面涂胶的技术原理进行了系统研究,分析了涂胶压强、基片和狭缝间距以及材料亲疏水性与涂胶面形态的关系,实现了对弯月液面的精密调控并研制出基于弯月面化学薄膜涂覆技术的装备,在1 400 mm×420mm尺寸玻璃基片上实现了光刻胶的均匀涂覆,使整体胶膜厚度误差＜4％,满足了米级元件表面精密化学薄膜的涂覆需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢振武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	93	1154	21.0	28.0
2	洪义麟		56	478	13.0	19.0
3	许文斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	70	5.0	8.0
4	刘正坤		32	132	6.0	9.0
5	鱼卫星	中国科学院西安光学精密机械研究所	10	75	5.0	8.0
6	徐佳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	52	4.0	7.0
7	卜和阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	11	2.0	3.0