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摘要:
随着光伏、电子产业的快速发展,对工业用水的要求越来越高,本文系统介绍了18M超纯水制备的工艺及设备,采用反渗透水+电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。
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反渗透
自来水
电子超纯水
VLSI用超纯水制备系统设计中的一些重点问题
超大规模集成电路
两级反渗透
电连续去离子
脱氧膜组
抛光混床
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 超纯水制备工艺及设备的研究
来源期刊 中国科技成果 学科
关键词 超纯水 工艺流程 电去离子(EDI)设备 反渗透 混床离子交换
年,卷(期) 2014,(22) 所属期刊栏目 创新交流
研究方向 页码范围 46-47
页数 2页 分类号
字数 2085字 语种 中文
DOI 10.3772/j.issn.1009-5659.2014.22.023
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
超纯水
工艺流程
电去离子(EDI)设备
反渗透
混床离子交换
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国科技成果
半月刊
1009-5659
11-4484/N
北京复兴路15号245室中国科技成果编辑部
chi
出版文献量(篇)
18187
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