基于探针定位的原子力显微镜纳米操作虚拟夹具实现

• 作者: 侯静 刘连庆 王志东 王智宇 袁帅
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 虚拟夹具 纳米操作
• 年，卷（期）: 2014,（13）
• 所属期刊栏目: 数字化设计与制造
• 页码范围: 142-147
• 页数: 6页
• 分类号: TG156
• 字数: 3019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2014.13.142

摘要

尽管基于原子力显微镜(Atom force microscopy,AFM)的纳米操作在过去10年间取得了极大进展,但依然有两个问题没有得到很好解决:探针的精确定位和稳定性操作.由于压电陶瓷驱动器非线性和温漂的影响,使得探针相对于被操作物体的定位极其困难,从而造成纳米操作任务失败;同时,因为探针仅能对被操作物体施加点式作用力,在操作中经常出现探针滑过被操作物体,或者引起被操作物体的转动、形变等非理想结果,阻碍纳米操作的深入发展.针对上述问题,提出基于概率的虚拟夹具纳米操作方法,其核心思想是在基于路标观测的探针定位基础上,实现基于概率的探针多点并发操作策略—虚拟夹具方法.仿真与试验结果验证该方法可以稳定、长距离的推动纳米颗粒,能够对一维纳米材料(管、线、棒)进行定姿态操作,从而使AFM纳米操作效率得到极大提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘连庆	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	28	39	4.0	4.0
2	袁帅	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	23	126	7.0	11.0
6	侯静	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	37	94	6.0	9.0
7	王智宇	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	2	4	1.0	2.0