等离子体气相凝聚技术制备银纳米团簇及粒径尺寸控制

• 作者: 唐永建 张建波 李喜波 王雅丽 罗江山 韦建军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 银纳米团簇 粒径尺寸 等离子体气相凝聚技术 四极质谱分析 微观形貌
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 122-126
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 2827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.082001

摘要

采用等离子体气相凝聚技术制备了银纳米团簇颗粒,开展了实验条件及工艺参数对团簇平均粒径和粒径分布的影响.利用四极质谱分析仪在线测量了银纳米团簇的粒径尺寸与分布,并与透射电子显微镜(TEM)离线测量值进行比对.研究结果表明:保持其他参数不变时,增大结露区长度或溅射电流,银纳米团簇的平均粒径尺寸将增大;增加氩气流量,银团簇粒子平均粒径也相应增大,但当氩气流量增至60 mL/min以上时,其平均粒径反而会减小.而氦气的加入会使平均粒径尺寸减小.在各工艺参数中,溅射电流和氩气流量是影响银纳米团簇平均粒径的主要因素.通过调节工艺条件,获得了平均粒径尺寸为2,4和6 nm的银纳米团簇,四极质谱仪监测的粒径分布与TEM离线表征结果总体一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李喜波	中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室	15	131	6.0	11.0
2	韦建军	四川大学原子与分子物理研究所	57	239	8.0	12.0
3	罗江山	中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室	67	469	11.0	16.0
4	王雅丽	四川大学原子与分子物理研究所	6	16	3.0	4.0
8	张建波	中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室	1	8	1.0	1.0