等离子体增强化学气相沉积系统的温度控制研究

• 作者: 刘卫国 周顺 高爱华
• 来源期刊: 弹箭与制导学报
• 关键词: PECVD 温度控制 可编程控制器 触摸屏 冗余设计
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 相关技术1
• 页码范围: 140-141
• 页数: 2页
• 分类号: TN915.14
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9728.2006.01.047

摘要

介绍了等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法.该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高爱华	西安工业学院光电工程学院	51	247	8.0	12.0
2	刘卫国	西安工业学院光电工程学院	112	575	12.0	17.0
3	周顺	西安工业学院光电工程学院	32	113	6.0	8.0