基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计

• 作者: 高建利
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 自控制 单片清洗 软件设计
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 清洗技术与设备
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1611字
• 语种: 中文

摘要

为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高建利	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	19	3.0	4.0