高阻隔薄膜阻气性能异常的分析

• 作者: 刘贤豪 宋鑫 李丽 赵伟涛 黄达
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 气体阻隔层 高阻隔膜 微观形貌 等离子体增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TQ31
• 字数: 1208字
• 语种: 中文

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜表面制备气体阻隔层获得高阻隔薄膜产品.针对高阻隔薄膜阻隔性能异常现象,通过微观结构分析和膜层成分分析,确定了异常数据点出现的原因.并通过增加表面平坦化处理的方法,对高阻隔膜成膜工艺进行改进.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘贤豪		23	140	6.0	11.0
2	李丽		4	13	2.0	3.0
3	宋鑫		6	6	2.0	2.0
4	赵伟涛		5	8	2.0	2.0
5	黄达		2	0	0.0	0.0