双工件台宏微交接系统设计及实验

• 作者: 刘永猛 吴剑威 崔继文 袁勇 谭久彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 双工件台 交接系统 柔性机构 快速抓卡装置
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1673-1680
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152306.1673

摘要

为了减少光刻机双工件台换台的时间,保证宏动系统与微动台的可靠连接,设计了一种双工件台快速宏微交接系统.基于柔性杠杆机构设计系统的快速抓卡装置以保证结构的紧凑性,并对其锁紧力进行了分析;设计的抓卡装置中的柔性机构包括柔性杠杆及下夹板回复单元,采用有限元方法对其进行了分析.设计了快速抓卡装置的充放气回路;为了保证抓卡装置锁紧时的速度和安全性,气动系统可实现抓卡装置锁紧的3个动态过程,从而完成抓紧装置的缓冲锁紧.最后,搭建了抓卡装置下夹板运动测量实验平台和锁紧力测量实验平台.实验结果表明:抓卡装置下夹板的运动行程大于2 mm,能够保证宏动系统和微动台交接过程的安全性.抓卡装置的开启时间为350 ms,快速缓冲锁紧时间为850 ms,可承载的X向驱动力大于700 N.该系统满足双工件台工作及换台过程对可靠性和快速性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	崔继文	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	20	416	10.0	20.0
3	刘永猛	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	4	12	2.0	3.0
4	吴剑威	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	9	80	4.0	8.0
5	袁勇	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	1	2	1.0	1.0