基于显微视觉的宏/微双驱动微动台系统

• 作者: 于保军 杨志刚 程光明 齐会良
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 宏/微双重驱动 精密定位 显微视觉 运动规划
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 125-129,174
• 页数: 6页
• 分类号: TP242
• 字数: 4673字
• 语种: 中文

摘要

提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差.采用显微视觉反馈控制微动台的移动和定位,实现定位机构的全闭环反馈控制.同时提出了带运动规划和估算的运动控制策略,提高了系统的运行速度.实验研究表明:系统的动态和稳定性能良好,该微动台的最大行程80 mm,定位精度1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械科学与工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	齐会良		1	19	1.0	1.0