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压电型宏/微双驱动精密定位机构的建模与控制
压电型宏/微双驱动精密定位机构的建模与控制
作者:
朱家诚
李欣欣
肖献强
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
精密定位系统
宏/微双驱动
机构设计
控制系统
摘要:
提出了基于PZT的串联型宏/微双驱动精密定位系统,宏动台由步进电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器驱动.将微动台安装在宏动台上,宏动台以地面为定位参考物,微动台以宏动台为定位参考物;宏动台实现大行程微米级定位,微动台实现纳米级的定位精度.采用基于机器视觉的视觉伺服来协调控制系统宏动和微动各自的控制部分,将距离信号作为控制阈值,实现整个定位结构的全闭环反馈控制.测试表明:系统的动态以及稳定性良好,工作行程为80 mm,定位稳定时间小于40ms,重复定位精度为100 nm.
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双驱动微位移器
开关控制器
控制策略
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
压电型宏/微双驱动精密定位机构的建模与控制
来源期刊
农业机械学报
学科
工学
关键词
精密定位系统
宏/微双驱动
机构设计
控制系统
年,卷(期)
2007,(11)
所属期刊栏目
先进制造技术及基础理论
研究方向
页码范围
140-143
页数
4页
分类号
TP242
字数
3205字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-1298.2007.11.034
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李欣欣
吉林大学机械科学与工程学院
116
798
14.0
24.0
2
朱家诚
合肥工业大学机械与汽车工程学院
76
439
11.0
16.0
3
肖献强
合肥工业大学机械与汽车工程学院
20
188
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传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
精密定位系统
宏/微双驱动
机构设计
控制系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
农业机械学报
主办单位:
中国农业机械学会
中国农业机械化科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-1298
CN:
11-1964/S
开本:
大16开
出版地:
北京德外北沙滩1号6信箱
邮发代号:
2-363
创刊时间:
1957
语种:
chi
出版文献量(篇)
11867
总下载数(次)
31
总被引数(次)
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