一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制

• 作者: 刘延杰 孙立宁 孙绍云 节德刚 蔡鹤皋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 宏微双重驱动 精密定位 建模 控制策略
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 171-178
• 页数: 8页
• 分类号: TP242
• 字数: 3718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.02.009

摘要

提出一种宏微双重驱动精密定位机构,采用高性能直线电机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位;安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差;采用精密光栅尺反馈微动平台输出端的位置信号,实现定位机构的全闭环反馈控制.在分别建立宏动、微动、宏微机构模型的基础上,提出复合型宏动控制和模糊自校正PID微动控制的宏微控制策略.实验研究表明:系统的动态和稳态性能良好,该定位机构的最大工作行程100 mm,稳定时间小于40 ms,重复定位精度10 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡鹤皋	哈尔滨工业大学机器人研究所	233	4809	37.0	57.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	刘延杰	哈尔滨工业大学机器人研究所	28	433	11.0	20.0
4	孙绍云	哈尔滨工业大学机器人研究所	7	409	7.0	7.0
5	节德刚	哈尔滨工业大学机器人研究所	4	265	4.0	4.0