压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制

• 作者: 刘定强 杨勇 谢礼 黄玉美
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 宏微驱动 弹性铰 压电驱动器 点位协调控制
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 220-223,233
• 分类号: TP242
• 字数: 2914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2011.04.044

摘要

设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成,并由压电陶瓷驱动器驱动.微动台安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联关系.宏动台用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位由微动台实现.利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协调宏微工作台之间的控制,而位置反馈由两个高精度光栅完成,精度检测由激光干涉仪完成.当宏动台运动结束后,微动台根据测得的定位误差做出补偿进给.实验表明,在行程100 mm的范围内每隔1 mm采集一点,误差控制在±100 nm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄玉美	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	210	3102	26.0	48.0
2	杨勇	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	17	64	4.0	7.0
3	刘定强	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	5	52	4.0	5.0
4	谢礼	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	1	25	1.0	1.0