飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响

• 作者: Y N Zhou 刘磊 张学谦 白海林 邢松龄 邹贵生
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 超快光学 飞秒激光 微孔加工 石英玻璃 倍频
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0403001

摘要

微孔加工是微器件加工中的重要环节,飞秒激光的强烈非线性吸收和“冷加工”特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景.选用石英玻璃作为试验材料,研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响.结果表明,飞秒激光脉冲能量、打孔速度对微孔深径比存在较大影响.随着激光能量和打孔速度的增加,微孔深径比均呈现减小趋势.通过选择适当参数,可以获得深径比大于25∶1且孔形较好、无明显裂纹的长直微孔.为了获得更好的聚焦效果,采用倍频晶体BBO获得了400 nm波长的飞秒激光.用相同聚焦透镜时400 nm飞秒激光加工的微孔比800 nm更小.此外,也对飞秒激光微孔加工中常见的缺陷进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹贵生		68	659	16.0	21.0
2	刘磊		64	597	11.0	23.0
3	白海林		10	60	5.0	7.0
4	邢松龄		2	0	0.0	0.0
5	张学谦		2	0	0.0	0.0
6	Y N Zhou		1	0	0.0	0.0