薄膜体声波谐振器微加速度计惯性力敏特性

• 作者: 何婉婧 李君儒 蔡洵 高杨 黄振华
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 微加速度计 力敏特性
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 337-341
• 页数: 5页
• 分类号: TN102|TB934
• 字数: 2423字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201502.0337

摘要

研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(AlN)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的 FBAR 微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真，得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布；选取最大应力值作为载荷，基于第一性原理计算纤锌矿AlN 的弹性系数与应力的关系式，预测惯性力载荷作用下 AlN 弹性系数的最大变化量；采用谐响应分析，预测 FBAR 微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。分析得到：惯性力载荷作用下， FBAR 微加速度计的谐振频率向高频偏移，灵敏度约为数 kHz/g；其加速度增量-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	何婉婧	西南科技大学信息工程学院	15	70	5.0	7.0
9	李君儒	西南科技大学信息工程学院	16	71	5.0	7.0
10	黄振华	西南科技大学信息工程学院	15	47	4.0	5.0
11	蔡洵	西南科技大学信息工程学院	17	56	4.0	5.0